碳化硅 (SiC) 是一种半导体,与纯硅相比具有某些优势,使其在高功率、高频率和高温应用中非常理想。然而,它的缺点是优质的 SiC 晶体难以生长。日本的研究人员今天在《自然》杂志上报告说,他们通过改进晶体形成的晶种克服了这些困难。
与大多数工业半导体不同,SiC 没有液态形式,这意味着必须开发全新的技术才能从 SiC 蒸汽中生长出大型晶体。不幸的是,这些过程会导致结构缺陷,从而影响由所得 SiC 晶圆制成的芯片的性能。丰田中央研发实验室的 Kazumasa Takatori 和他的同事通过在多个方向上生长单个 SiC 晶体,成功减少了晶体中的缺陷数量。
SiC 的基本结构是硅-碳双层,其中硅原子位于碳六边形的顶部。这些双层定义了所谓的 c 面。研究人员通常在籽晶的 c 面上生长晶圆,但最终产品往往布满了微米级的孔洞。为了避免这些“微管”,Takatori 和他的合作者在不同的面上生长他们的晶体——在所谓的 a 面之一上。这个过程类似于盖房子,不是从地基开始,而是从东墙到西墙。研究小组最初以这种方式生产的晶体实际上充满了缺陷,但科学家们沿着“南北”方向(也是 a 面)切割切片,并用它们来生长新的晶体。这种 a 面再播种重复了几次,最后一步是 c 面生长。结果表明,晶体中的缺陷数量随着 a 面生长的每个阶段呈指数下降。
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Takatori 预计,一旦可靠的组件制造出来,SiC 可能会出现在电源转换器、汽车和家用电器以及通信基站的放大器中。他说:“SiC 半导体通常预计在 2010-2012 年左右投入实际使用。” 法国格勒诺布尔国家理工学院的 Roland Madar 在一篇随附的评论中指出,“碳化硅最终已成为硅王冠的竞争者。”